| 摘要 |
<p>본 발명은 폴리실리콘 제조용 화학기상증착 반응기로부터 배출된 배기가스로부터 수소 기체를 분리하기 위한 제1증류탑, 상기 제1증류탑의 하부 스트림으로부터 염화수소 기체를 분리하기 위한 제2증류탑, 상기 제2증류탑의 하부 스트림을 분별 증류하는 제4증류탑, 및 상기 제4증류탑의 상부 스트림을 트리클로로 실란과 디클로로 실란의 혼합물 및 테트라클로로 실란으로 분리하기 위한 제3증류탑을 포함하며, 상기 제4증류탑에서 배출되는 하부 스트림이 상기 제1증류탑에 공급되는 것을 특징으로 하는 배기가스 분리 장치 및 이를 이용한 배기가스 분리 방법에 관한 것이다.</p> |
