| 摘要 |
웨이퍼를 가열 처리할 때에 히터 플레이트를 균열화하고, 히터 플레이트에 열 변형에 의한 변형 등의 불량이 발생하는 것을 방지함과 더불어, 웨이퍼의 온도 균일성을 향상시킬 수 있는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다. [해결 수단] 본 발명의 기판 지지 장치는, 내부에 발열체를 갖는 히터 플레이트와, 히터 플레이트의 하면에 배치되어 제1 유로를 갖는 제1 냉각판과, 히터 플레이트의 상면에 배치되어 제2 유로를 갖는 제2 냉각판을, 구비한 플레이트부와, 발열체에 접속되어 발열체에 전류를 공급하는 배선과, 제1 유로 및 제2 유로에 냉매를 공급하는 배관을 내부에 갖고, 플레이트부를 지지하는 샤프트부를 구비하고, 제1 유로는 제1 냉각판의 중앙부에서 외연부를 향해 제1 방향으로 회전하는 나선형의 유로를 포함하고, 제2 유로는 제2 냉각판의 중앙부에서 외연부를 향해 제1 방향과는 반대 방향의 2 방향으로 주회하는 나선형의 유로를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
