| 摘要 |
<p>본 발명은 열플라즈마 제트 발생 가스를 공급하여 열플라즈마 제트를 발생시키는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 발생된 열플라즈마 제트에 실리콘 분말을 공급하여 용융 및 기화시키는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2에서 용융 및 기화된 실리콘 분말을 냉각시키고 포집하는 단계(단계 3);를 포함하는 실리콘 나노 입자의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 실리콘 나노 입자의 제조방법은 열플라즈마 제트를 이용함으로써 짧은 시간 동안에 실리콘 분말에 열을 가하고 냉각시켜 나노 크기의 입자를 형성할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 제조방법은 에너지 효율이 높고, 공정 시간이 상대적으로 짧으며, 공정 조건의 제어가 쉽다는 장점이 있다.</p> |
