| 摘要 |
<p>마이크로리소그래피 투영 노광 장치용 조명 시스템은 다중 미러 어레이로 배열되고 적어도 하나의 액추에이터를 통해 경사질 수 있는 미러를 포함한다. 또한, 조명 시스템은 미러를 위한 구동 전자 장치를 포함하고, 구동 전자 장치는 제1 분해능을 갖는 거대 디지털-아날로그 변환기(68)와, 제1 분해능보다 높은 제2 분해능을 갖는 미세 디지털-아날로그 변환기(70)와, 2개의 디지털-아날로그 변환기(68, 70)에 의해 출력되는 출력량이 전체 양을 산출하기 위해 부가될 수 있는 가산기(72)를 포함한다. 전체 양은 미러의 적어도 하나의 액추에이터에 적어도 간접적으로 적용될 수 있다.</p> |
