| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
(A), (B), (C) 및 (D)를 포함하는 감광성 수지 조성물: (A) 페놀성 히드록시기를 갖는 구조 단위를 갖고, 탄소수 4 내지 6의 퍼플루오로알킬기를 갖는 구조 단위를 갖지 않는 중합체 (B) 탄소수 4 내지 6의 퍼플루오로알킬기를 갖는 구조 단위를 포함하는 중합체 (C) 중합성 화합물 (D) 중합 개시제. |
| 申请公布号 |
KR101559692(B1) |
申请公布日期 |
2015.10.12 |
| 申请号 |
KR20147033070 |
申请日期 |
2014.06.06 |
| 申请人 |
스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 |
发明人 |
가와니시, 유타카;이노우에, 히로야스;야마시타, 가즈키 |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/032 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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