发明名称 СПОСІБ ОТРИМАННЯ РАДІАЦІЙНО СТІЙКОГО КРЕМНІЮ ДЛЯ ЕЛЕКТРОННИХ ПРИЛАДІВ
摘要 Спосіб отримання радіаційно стійкого моно- та полікристалічного кремнію для електронних приладів шляхом вирощування з розплаву, включаючи легування фосфором для створення провідності n-типу та ізовалентним елементом IV групи, причому додатково легують домішкою олова у діапазоні концентрацій 10-10смза умови, що отриманий матеріал буде мати питомий електроопір в межах 0,5-20 Ом×см, концентрації технологічних домішок кисню та вуглецю не перевищують величин 10смі 5×10смвідповідно, а регулювання радіаційної стійкості проводять зміною співвідношення вагових частин кремнію, фосфору і олова у вихідному розплаві.
申请公布号 UA101855(U) 申请公布日期 2015.10.12
申请号 UA20140013859U 申请日期 2014.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利