| 发明名称 | 掩膜框架及其对应的蒸镀用掩膜组件 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI503427 | 申请公布日期 | 2015.10.11 |
| 申请号 | TW102132121 | 申请日期 | 2013.09.06 |
| 申请人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 发明人 | 魏志凌;高小平;潘世珎 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/04 |
| 代理机构 | 代理人 | 彭志弘 新北市三重区重新路3段107之1号10楼 | |
| 主权项 | 一种掩膜框架，系包括。 外框， 系包括两组对边，所述两组对边构成一个中空封闭矩形框架； 固定杆，置于所述外框内侧且与掩膜版一组对边连接；以及 固定机构，连接所述外框和置于所述外框内侧的所述固定杆以支撑所述固定杆，将向内收缩的所述固定杆向外进行拉伸，以减少或弥补当所述固定杆将所述掩膜版绷紧时产生的所述固定杆边框向内收缩量的作用。 | ||
| 地址 | 中国 | ||