液态微机电系统电容器

主权项

一种液态微机电系统(MEMS)电容器，包括：第一电容器板；第二电容器板；在板材的一个或多个层中的通道，其中，所述第一电容器板和第二电容器板接近所述通道并且彼此间隔；电介质掺杂微滴，包含在所述通道中；以及微滴致动模组，相对于所述第一电容器板和所述第二电容器板使所述电介质掺杂微滴在所述通道内移动，以影响所述电介质掺杂微滴之改变，从而改变所述液态微机电系统电容器的介质特性。