| 摘要 |
각종 면형상에 대응하는 대형 장치의 제작이 가능함과 동시에, 장치 수명의 연장과 에너지 절약을 가능하게 한 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 플라즈마 발생 장치(1-1)는 유전체층(3)과 유전체층(3) 내에 형성된 제1 전극 및 제2 전극(4, 5)과 교류 전원(6)과 제1 금속층(7)을 구비한다. 유전체층(3)은 폴리이미드 수지의 고분자 수지층(31, 32)으로 이루어진다. 전극(4, 5)은 유전체층(3) 내에 병설되어 있다. 제1 금속층(7)은 살균 작용을 가진 금속에 의해 형성되고 그 표면에 다수의 구멍(71)을 가지고 있다. 제1 금속층(7)은 고분자 수지층(32)의 지지부(33, 34) 상에 걸쳐져서 전극(4, 5) 전체와 대면함과 동시에 고분자 수지층(32)의 사이에서 간극(S)을 획성(劃成)한다. |
