基板处理装置及方法

主权项

一种基板处理装置，其系处理基板之装置，包括：一外壳，其具有搬入基板之开口；一喷嘴，其由上述外壳内提供，向基板供给处理液；及一门装配件，其用以调节上述开口之开放宽度；上述门装配件具有：沿着上述开口之横方向并排提供之多数个门，及上述门之中至少一个向上下方向移动的驱动器，其中上述多数个门具有：一中央门，其系于上述开口之横方向上位于中央区域，一第1侧部门，其系位于上述开口之一侧部，及一第2侧部门，其系位于上述开口之他侧部。