气体供给装置

主权项

一种气体供给装置，系利用减压手段将由压缩气体供给源所供给之气体进行减压而供给者，其特征为，于上述减压手段之气体流动方向上游侧设置热交换器，以使导入至该减压手段之气体与由温水供给源所供给之温水进行热交换而将上述气体进行加温；并且于上述减压手段设置用以藉由上述温水之一部分将该减压手段进行加温之温水流路。