基板液处理装置及基板液处理方法以及记录有基板液处理程式之记录媒体

主权项

一种基板液处理装置，系以处理液对基板之表面进行液处理之后以冲洗液进行冲洗处理，该基板液处理装置之特征为具有：用以保持上述基板之基板保持手段；用以对上述基板之表面供给上述处理液而进行上述基板之液处理的处理液供给手段；用以对上述基板之表面供给较上述处理液低温之冲洗液而进行上述基板之冲洗处理的冲洗液供给手段；和对上述基板之表面进行的液处理和冲洗处理之间，将上述基板之表面之温度设成低于上述处理液之液温且高于上述冲洗液之液温的温度之中间处理手段，上述中间处理手段系在对上述基板之表面进行之液处理和冲洗处理之间，仅对上述基板之背面供给低于上述处理液之液温且高于上述冲洗液之液温的温度之中间处理液。