基板收纳设备、基板处理设备及基板收纳设备之作动方法

主权项

一种基板收纳设备，包含：收纳架，系具有复数个可收纳收纳容器的收纳部，且前述收纳容器以于上下方向隔有间隔排列之状态固持复数片基板；出入库部，系前述收纳容器之出入库部；收纳容器搬送装置，系构造成于前述收纳架前方之移动空间在架横宽方向上移动，且将前述收纳容器搬送至前述出入库部及前述收纳部；及控制机构，系控制前述收纳容器搬送装置之作动，前述收纳架以互相对向之状态装设有一对，前述收纳容器搬送装置构造成具有使所支持之前述收纳容器旋转之旋转机构，又，前述收纳容器形成为全体上具有四角形断面之筒状，并具有位于其一端侧之第1开口、及与前述第1开口于水平方向上空出一间隔而设于另一端侧的第2开口，并且前述第1开口构造成供前述基板出入用之出入口，于前述收纳容器之前述第2开口区域装设有由前述第2开口朝前述第1开口通风之风扇过滤单元，前述控制机构系构造成可控制前述收纳容器搬送装置之作动，俾于成对之前述收纳架之任一者中，均以使前述收纳容器之装设有前述风扇过滤单元之侧位于
前述移动空间侧、且使前述收纳容器之前述出入口侧位于远离前述移动空间侧之状态，将前述收纳容器收纳于前述收纳部。