主权项 |
一种气体分析装置,其包含:一基板;一流体控制组件,其耦接至该基板,该流体控制组件包括复数个流体控制零件,该等流体控制零件可移除地耦接至该基板且可移除地彼此耦接,该复数个流体控制零件包括:一气相层析仪,其具有一流体入口以及一流体出口,及一感测器阵列,具有一流体入口以及一流体出口,其中该感测器阵列之该流体入口系流体耦接(fluidly coupled)至该气相层析仪之该流体出口;一罩体,其覆盖该复数个流体控制零件;一控制电路,其可通联地耦接至该复数个流体控制零件之至少一者;及一读出电路,其可通联地耦接至该感测器阵列及该控制电路。
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