发明名称 封装装置及其形成方法
摘要
申请公布号 TWI503943 申请公布日期 2015.10.11
申请号 TW102121859 申请日期 2013.06.20
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 胡延章;萧景文;陈承先
分类号 H01L23/52;H01L23/12 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种封装装置,包括:一装置晶粒;复数个金属支柱(metal posts),在该装置晶粒的一表面,且电性耦接至该装置晶粒;复数个组件内部穿孔(through-assembly vias;TAVs);一屏障元件(dam member),在该装置晶粒及该些组件内部穿孔之间;以及一聚合物层,包围该装置晶粒、该些金属支柱、该些组件内部穿孔、及该屏障元件。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号