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经营范围
发明名称
显示元件之制造方法及制造装置
摘要
申请公布号
TWI503919
申请公布日期
2015.10.11
申请号
TW098121114
申请日期
2009.06.24
申请人
尼康股份有限公司
发明人
滨田智秀;奈良圭
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
陈传岳 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼
主权项
一种显示元件之制造方法,其具有:伸缩计算程序,藉由在预设方向排列之第一对准系统及第二对准系统来检测往前述预设方向递送之基板上之对准标记,计算前述基板预设方向之伸缩;以及处理程序,根据前述对准标记及前述基板预设方向之伸缩,藉由处理装置来在前述基板之预设位置施加用来形成显示元件之处理;以及程序,其系在前述处理程序之前实施,以前述第一对准系统及前述第二对准系统同时检测已事先在前述预设方向测量了距离的一对基础标记,校正前述第一对准系统与前述第二对准系统之距离。
地址
日本
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