化学机械平坦化后用之酸性清洁组成物

主权项

一种化学机械平坦化后用之酸性清洁组成物，包括：至少一种多胺多羧酸及/或其盐类；至少一种羟基羧酸及/或其盐类；以及其余者实质上为水；且该酸性清洁组成物的pH值系介于1~5之间，该酸性清洁组成物更包括氢氧化四甲基铵、氢氧化胺、氢氧化四丁基铵、氢氧化四乙基铵、氢氧化苯甲基三甲基胺、氢氧化二甲基二乙基铵、氢氧化四丙基铵、磷氮环化合物、或胺类。