叠合计测装置，叠合计测方法，及叠合计测系统

主权项

一种叠合计测装置，系为藉由利用照射带电粒子束而取得之图像，来计测试料的上层之图样的位置与下层之图样的位置之间的差距之叠合计测装置，其特征为，具有：图样匹配处理部，从对于前述上层之图样而言对比度最佳化之图像当中找出复数个具有规定图样之第一部分，而从对于前述下层之图样而言对比度最佳化之图像当中找出复数个具有规定图样之第二部分；加算处理部，将前述第一部分及前述第二部分分别切割出来成为第一部分图像及第二部分图像，将复数个前述第一部分图像及复数个前述第二部分图像分别予以加算而生成第一加算图像及第二加算图像；及位置错位计算部，求出利用前述第一加算图像而找出的上层之图样的位置与利用前述第二加算图像而找出的下层之图样的位置之间的差距。