用于改善光点大小的八极装置及方法

主权项

一种在一扫描带电粒子束装置中补偿机械、磁性或静电不准确度之方法，该方法包含以下步骤：一对准程序，该程序包含以下步骤：利用具有至少8极补偿能力的一元件补偿4级像散；其中该对准程序之该等对准及补偿步骤作用于一带电粒子束上，其中该带电粒子束的束尺寸在两个正交方向上各具有至少50μm，且其中该带电粒子束至少与该元件同轴对准，其中该元件至少具有该8极补偿能力。