基板托盘及使用该托盘之基板处理装置

主权项

一种基板托盘，为用以保持基板之基板托盘，其特征为：具备托盘本体；和基板载置板，其包含载置基板之基板载置部，上述托盘本体包含：基板保持部，其系以使上述基板之应处理的部分露出之方式，保持上述基板之周端部；和磁铁，其系被配置在较上述基板保持部更外侧，以使得上述托盘本体藉由磁力保持上述基板载置板，上述磁铁被埋设在上述托盘本体，在上述托盘本体设置有具有小于上述基板之外径之第1直径的第1开口部，和从上述第1开口部延伸至外侧之环面，和藉由上述环面与上述第1开口部连接，具有大于上述基板外径之第2直径的第2开口部，上述基板保持部系藉由上述第1开口部、上述第2开口部及上述环面而形成，以上述环面和上述基板载置部夹持上述基板，并藉由上述第2开口部限制上述基板之位置。