主权项 |
一种电镀装置,包括:储留镀液之镀敷槽;他槽,其系与上述镀敷槽为别体之槽,上述镀液于与上述镀敷槽之间循环;及输送侧配管,由上述镀敷槽对上述他槽输送上述镀液;上述他槽,于其内部具有:第1空间;及位于较该第1空间为下游侧之第2空间,而具有:上述第1空间内的上述镀液之中超过既定高度的部分由上述第1空间流入上述第2空间,上述镀液在于该第2空间在空气中流下的构造,上述他槽,具有:第1隔壁,其系为隔开上述第1空间与上述第2空间而上下方向延设者;及第2隔壁,其系将上述第1空间的内部,分成使上述镀液中的金属粒子沉降的沉降空间,及位于该沉降空间之上游侧,由上述输送侧配管之供给口供给上述镀液之供给空间,而上下方向延设者。
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