| 主权项 |
一种可移动处理室内的负载的装置，包括：轴件，穿出位于该处理室侧壁的开孔；机械接触轴承，支撑该轴件，位于该处理室外侧；固定密封外壳，具有可使该轴件穿过的第一中央开口、固定于该侧壁外表面的上表面、以及一下表面；以及浮动密封匣，具有可使该轴件穿过的第二中央开口、位于接近该固定密封外壳的该下表面的上表面，其中其间的空间定义为接面，以及一下表面，该浮动密封匣包括：匣空气通道，位于该浮动密封匣内，连接压缩空气来源且终止于该第二中央开口；以及一个或多个匣真空通道，位于该浮动密封匣内且终止于该第二中央开口，其中第一空气轴承形成在该接面，介于该浮动密封匣和该固定密封外壳之间，以及第二空气轴承形成在该第二中央开口处，介于该浮动密封匣和该轴件之间。
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