发明名称 化学检测器、化学检测器模组、活体分子检测装置及活体分子检测方法
摘要
申请公布号 TWI503533 申请公布日期 2015.10.11
申请号 TW101134980 申请日期 2012.09.24
申请人 新力股份有限公司 发明人 松泽伸行;前田兼作;守屋雄介;小泽谦
分类号 G01N21/64;H01L27/14 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种化学检测器,其包括:基板,其形成有排列成平面状之复数个光电二极体;晶载透镜,其设于上述基板上,且将入射光聚光于上述光电二极体;及平坦化层,其被覆上述晶载透镜且平坦化,形成用以保持探针材料之探针保持面;且进而包括积层于上述平坦化层且供上述探针材料固定之表面层。
地址 日本
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