| 主权项 |
一种基板处理装置，其包括：全面处理海绵，其具有基板主面以上之大小之水平之第1基板接触面，且可吸收处理液；部分处理海绵，其具有小于基板主面之水平之第2基板接触面，且可吸收处理液；处理液供给手段，其对上述全面处理海绵及上述部分处理海绵供给处理液；基板保持手段，其保持基板呈水平；接触手段，其使上述全面处理海绵及上述部分处理海绵与上述基板保持手段所保持之基板之主面相对移动并使两者接触，藉此将上述全面处理海绵及上述部分处理海绵中所吸收之处理液供给至上述基板主面；以及接触控制手段，其藉由控制上述接触手段，而使上述全面处理海绵及上述部分处理海绵中之任一海绵与上述基板保持手段所保持之基板主面接触。
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