钽容器的浸碳处理方法

主权项

一种钽容器之浸碳处理方法，系将碳浸透于由钽或钽合金所构成之钽容器之浸碳处理方法，其具有：以设置于腔室内之支撑构件支撑前述钽容器，且将前述钽容器配置于腔室内之步骤；及将前述腔室内予以减压及加热之步骤；且在不易进行浸碳处理之部位附近设置碳源。