发明名称 吸附组件清洗治具
摘要
申请公布号 TWM510333 申请公布日期 2015.10.11
申请号 TW104212714 申请日期 2015.08.06
申请人 统怡工程有限公司;力晶科技股份有限公司 发明人 许武田;詹国雍;陈俊霖;陈博阳;牛太毅
分类号 C23C16/02 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人 蔡朝安 新竹市科学工业园区力行一路1号E之1
主权项 一种吸附组件清洗治具,其系用以于清洗一吸附组件时,承载该吸附组件,该吸附组件包含复数个环状碟盘,该吸附组件清洗治具包含: 一底座,该底座上形成至少一第一开孔; 二侧板,其系分离且相对设置于该底座之相对二侧;以及 一杆体,跨设于二该侧板上,该杆体系供穿设该些环状碟盘。
地址 新竹市新竹科学园区力行一路12号