光学式膜厚量测方法

主权项

一种光学式膜厚量测方法，包括以下步骤：(a)提供一待测膜厚样品，该待测膜厚样品包括一膜本体及一表面粗糙结构；(b)利用一反射式光谱仪测得该待测膜厚样品之一光波长相关反射率曲线，该光波长相关反射率曲线具有复数个峰值，各该峰值分别对应不同光波长；(c)以至少二峰值所分别对应之光波长计算该待测膜厚样品之光学厚度；(d)以等效介质近似法计算该膜本体及该表面粗糙结构之等效折射率；及(e)将该光学厚度除以该等效折射率，即可求得该待测膜厚样品之膜厚。