接合方法、电脑记忆媒体、接合装置及接合系统

主权项

一种接合方法，系接合平面形状相同的基板之接合方法，其特征为：具有：接合被吸附保持于第1保持构件的下面之第1基板，以及于设在前述第1保持构件的下方之第2保持构件的上面被吸附保持的第2基板之接合步骤，及其后测定第1基板与第2基板被接合后之重合基板的外径，根据该测定结果，判定第1基板与第2基板之接合位置是否良好之接合位置判定步骤，在前述接合位置判定步骤，前述测定结果未满特定的阈值的场合，判定第1基板与第2基板的接合位置为正常，前述测定结果为特定阈值以上的场合，判定第1基板与第2基板的接合位置为异常。