蚀刻液及矽基板之表面加工方法

主权项

一种蚀刻液，其系浸渍矽基板，且使该基板表面形成金字塔状凹凸的蚀刻液，其特征为含有由以下述一般式(1)所示化合物(A)或其硷盐中选出之1种以上的蚀刻抑制剂，与浓度为0.1重量%以上、30重量%以下之氢氧化硷(B)，【化1】R-X (1)(式中，R系表示碳数4以上、15以下之烷基、烯基及炔基中任何一种基，X系表示磺酸基)。