СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК

摘要

Способ получения тонких металлических пленок, включающий конденсацию в вакууме металлических слоев на подложку и проведение последующей реакции между слоями, отличающийся тем, что на подложку наносят не менее шести слоев в последовательности Cu/Sn/Cu/Sn/Cu/Sn для системы Cu-Sn или Al/Ni/Al/Ni/Al/Ni для системы Ni-Al при остаточном давлении не хуже 10торр в вакууме и нагревают со скоростью 1 град/с при температуре от 20 ступенчато до 300°C, вплоть до получения тонкой интерметаллической пленки с равновероятным распределением интерметаллических островков, плотность которых зависит от конечной температуры нагрева.