| 摘要 |
Устройство для непрерывного выращивания кристаллических слоев кремния, включающее тигель для расплава, нагреватель тигля, подложку из гибкой углеродной фольги, соединенную с механизмом ее перемещения, и капиллярный питатель, связанный с расплавом в тигле жгутом из углеродной нити, отличающееся тем, что капиллярный питатель снабжен независимым нагревателем, а тигель снабжен механизмом для его вертикального перемещения. |
