APPARATUS AND METHODS FOR IMPINGING FLUIDS ON SUBSTRATES

摘要

جهاز وطرق لصدم الموائع على المواد الخاضعة APPARATUS AND METHODS FOR IMPINGING FLUIDS ON SUBSTRATES الملخص الاختراع الحالي يتعلق بجهاز معلن وطرق لصدم الموائع (fluids)، مثلا الموائع المسخنة (heated fluids)، على سطح المادة الخاضعة (substrate) ثم إزالة المائع المصطدم موضعيا. قد يشتمل الجهاز على مخرج توصيل مائع أول وثان (first and second fluid delivery outlets) على الأقل متباعدين عن بعضهما البعض. قد يشتمل الجهاز على مخرج إمساك مائع أول وثان (first and second fluid capture inlets) على الأقل موضوعين بشكل موضعي بالنسبة لمخرج توصيل المائع الأول والثاني، على الترتيب. قد يستخدم الجهاز والطريقة مثلا لصدم الموائع على مادتين خاضعتين متقاربتين وقد يستخدم لتسخين أسطح المواد الخاضعة لتسهيل ربط المواد الخاضعة بالانصهار مع بعضها البعض. شكل 1