| 发明名称 |
圧電素子、圧電アクチュエータ、ハードディスクドライブ、インクジェットプリンタ装置、及び圧電センサ |
| 摘要 |
本発明に係る圧電素子（１００）は、第一電極膜（５）、第一電極膜（５）上に設けられた第一非金属導電性中間膜（４）、第一非金属導電性中間膜（４）上に設けられた圧電膜（３）、圧電膜（３）上に設けられた第二非金属導電性中間膜（２）、及び、第二非金属導電性中間膜（２）上に設けられた第二電極膜（１）を備える。第一非金属導電性中間膜（４）の線膨張率は、第一電極膜（５）及び圧電膜（３）の線膨張率よりも大きく、第二非金属導電性中間膜（２）の線膨張率は第二電極膜（１）及び圧電膜（３）の線膨張率よりも大きい。【選択図】図３ |
| 申请公布号 |
JP2015529963(A) |
申请公布日期 |
2015.10.08 |
| 申请号 |
JP20150502970 |
申请日期 |
2013.07.25 |
| 申请人 |
ＴＤＫ株式会社 |
发明人 |
倉知 克行;會田 康弘;佐久間 仁志;前島 和彦 |
| 分类号 |
H01L41/047;B41J2/14;G01C19/5621;G11B5/56;G11B5/596;G11B21/10;H01L41/09;H01L41/113;H01L41/187;H02N2/00 |
主分类号 |
H01L41/047 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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