| 摘要 |
Vorgesehen ist eine mehrlagige Dünnschicht für ein Schneidwerkzeug, bei der mikroskalige Dünnschichten mit einer Dicke von wenigen Nanometern bis zu Zehnteln von Nanometern abwechselnd aufeinander gestapelt werden, die weniger Qualitätsunterschiede aufweist und dazu in der Lage ist, eine hervorragende Verschleißfestigkeit zu realisieren. Die mehrlagige Dünnschicht gemäß der vorliegenden Offenlegungsschrift ist eine mehrlagige Dünnschicht für ein Schneidwerkzeug, bei der Dünnschichteinheiten, die jeweils aus den Dünnschichten A, B, C, und D bestehen, mehr als einmal übereinander gestapelt werden, wobei die Elastizitätsmodule k der Dünnschichten die Verhältnisse kA > kB, kD > kC oder kC > kB, kD > kA erfüllen, die Gitterparameter L der Dünnschichten die Verhältnisse LA, LC > LB, LD oder LB, LD > LA, LC erfüllen, und eine Differenz zwischen den maximalen Werten und den minimalen Werten der Gitterparameter L 20 % oder weniger beträgt. |
