发明名称 Kippspiegel-Monitoring
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Überwachung und/oder Bestimmung der Kippposition mindestens eines verkippbar angeordneten Spiegels (20) mit einer Überwachungslichtquelle (11), von der Überwachungslicht (24) auf den zu überwachenden Spiegel gelenkt wird, und einem Detektor (14), mit dem Licht erfasst wird, wobei zwischen zu überwachendem Spiegel und Detektor eine Lichtwandelscheibe (12) in Form einer Streuscheibe oder Lumineszenzscheibe oder Absorptionsscheibe angeordnet ist, sodass von dem zu überwachenden Spiegel Licht auf die Lichtwandelscheibe reflektiert wird, wobei der Detektor das durch die Lichtwandelscheibe erzeugte Licht erfasst.
申请公布号 DE102015214012(A1) 申请公布日期 2015.10.08
申请号 DE201510214012 申请日期 2015.07.24
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 FREIMANN, ROLF
分类号 G02B26/08;G01B9/02;G03F7/20 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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