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Die Erfindung betrifft einen Kontakt-Abstandstransformer (4) einer elektrischen Prüfeinrichtung (1) zur Prüfung eines elektrischen Prüflings (7), insbesondere Wafers (8), wobei der Kontakt-Abstandstransformer (4) zur Abstandsverkleinerung von benachbart zueinander liegenden elektrischen Kontakten (16, 19) dient und eine elektrisch nicht leitende Tragstruktur (28) aufweist, die eine erste Seite (17) und eine zweite Seite (18) besitzt, wobei auf der ersten Seite (17) erste elektrische Kontakte (16) mit einem Kontaktabstand (a) zueinander liegen und auf der zweiten Seite (18) zweite elektrische Kontakte (19) angeordnet sind, die einen gegenüber den ersten Kontakten (16) der ersten Seite (17) kleineren Kontaktabstand (b) zueinander aufweisen, wobei die ersten Kontakte (16) mit den zweiten Kontakten (19) mittels die Tragstruktur (28) durchsetzenden und/oder auf der Tragstruktur (28) angeordneten elektrischen Verbindungen (20) verbunden sind. Es ist vorgesehen, dass sowohl die Tragstruktur (28) als auch die elektrischen Verbindungen (20) als 3D-Druckbauteile (27) ausgebildet sind. Ferner betrifft die Erfindung eine elektrische Prüfeinrichtung (1) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Kontakt-Abstandstransformers (4). |
