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<p>복수개의 비극성 발광셀들을 갖는 발광 소자 및 그것을 제조하는 방법이 개시된다. 이 방법은 상부 표면이 r면, a면 또는 m면을 갖는 사파이어 또는 실리콘탄화물의 제1 기판을 준비하는 것을 포함한다. 상기 제1 기판은 그 상부 표면상에 스트라이프 형상의 성장 방지 패턴을 갖고, 또한 상기 성장 방지 패턴 사이에 측벽이 c면인 리세스 영역을 갖는다. 상기 리세스 영역을 갖는 기판상에 질화물 반도체층들이 성장되고, 상기 질화물 반도체층들을 패터닝하여 서로 분리된 발광셀들이 형성된다. 이에 따라, 우수한 결정 품질의 비극성 발광셀들을 갖는 발광소자가 제공된다.</p> |
