| 摘要 |
<p>본 발명은 대형 사업장과 달리 소량의 순수한 물(DI 워터)을 필요로 하는 사업장이나 연구소 등에 적합하도록 부피를 줄이고 이동성을 강화한 DI 워터 공급장치에 관한 것으로서, 내부에 공간이 형성되고 일 측면에 컨트롤 박스(120)가 구비된 케이스(100), 케이스(100) 바닥판(110)의 저면에 부착된 복수의 바퀴(200) 및 PCW(Process Cooling Water)의 이물질을 제거하는 필터(31)와, 화학적인 필터를 통과시켜 PCW의 비저항 수치를 향상시켜 주는 레진 탱크(32), DI 워터로 정제된 PCW를 저장하는 DI 워터 저장조(33) 및 DI 워터의 흡입 및 토출의 흐름을 유지시켜 주는 순환 펌프(34)를 포함하며, 케이스(100) 내에 설치되는 DI 워터 공급수단으로 구성된다.</p> |
