| 摘要 |
<p>Vibrationssensor (1) mit einer über einen Antrieb (3) zur Schwingung anregbaren Membran (5), wobei der Antrieb wenigstens einen Piezoaktor aufweist, der mit der Membran (5) verklebt ausgebildet ist, wobei die Membran (5) wenigstens eine Zentriervorrichtung (10) aufweist, die geeignet ausgebildet ist, den Antrieb (3) relativ zur Membran (5) zentriert auszurichten und zu halten.</p> |
