ＩＩＩ族窒化物ウエハおよびその生産方法

摘要

本発明は、他方の表面と視覚的に区別可能な一方の表面を有する、ＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮ、およびそれらの合金等のＩＩＩ族窒化物ウエハを開示する。複数のワイヤソー等の機械的方法を用いて、ＩＩＩ族窒化物のバルク結晶からウエハをスライスした後、ウエハは、ウエハの一方の表面が、他方の表面と視覚的に区別可能であるように、化学的にエッチングされる。機械的プロセスは、ウエハの研削である。本発明はまた、そのようなウエハを生産する方法も開示する。