| 发明名称 | 速调管电子枪除气台 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种速调管电子枪除气台。该速调管电子枪除气台包括：台架；第一工作台和第二工作台，相互独立地设置于台架的工作台面上，用于容置待除气的速调管电子枪；真空系统，用于对两工作台抽真空；电极系统，用于为容置于两工作台内的速调管电子枪提供电流和电压；以及电气控制系统，用于对第一工作台和第二工作台内真空度进行监测，并对真空系统和电极系统进行控制。本发明中，双工位工作台能够独立或同时工作，且其中一工位放大气后，另一工位的真空度不低于6×10<sup>-6</sup>Pa，有效缩短了电子枪的制作周期，提高了工艺效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104966653A | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
| 申请号 | CN201510408460.2 | 申请日期 | 2015.07.13 |
| 申请人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明人 | 王博锋;周冠丽;胡旭华;周健勇 |
| 分类号 | H01J9/39(2006.01)I;H01J23/06(2006.01)I;H01J25/10(2006.01)I | 主分类号 | H01J9/39(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 曹玲柱 |
| 主权项 | 一种速调管电子枪除气台，其特征在于，包括：台架(1)；第一工作台(39)和第二工作台(40)，相互独立地设置于所述台架(1)的工作台面(23)上，用于容置待除气的速调管电子枪；真空系统，用于对两工作台抽真空；电极系统，用于为容置于两工作台内的速调管电子枪提供电流和电压；以及电气控制系统，用于对所述第一工作台(39)和第二工作台(40)内真空度进行监测，并对真空系统和电极系统进行控制。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区北四环西路19号 | ||