| 发明名称 | 一种基于视觉的晶圆偏转角度检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基于视觉的晶圆偏转角度检测方法，包括如下步骤：S1:设置相机及工作台上的晶圆；S2:相机拍摄晶圆，获取晶圆图像；S3:图像处理器接收晶圆图像、相机与工作台的偏差角度；图像处理器对晶圆图像进行处理，得到晶圆的偏转角度；相机与工作台的偏差角度与晶圆的偏转角度之和为晶圆的所需旋转角度。本发明的有益效果是：采用相机拍摄晶圆照片，图像处理器计算得到晶圆的所需旋转角度，然后旋转工作台，能够提高校准精度与加工效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104966681A | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
| 申请号 | CN201510392476.9 | 申请日期 | 2015.07.06 |
| 申请人 | 深圳市图谱锐科技有限公司 | 发明人 | 胡泓;许家誉;王建波 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人 | 田亚军;黄晓笛 |
| 主权项 | 一种基于视觉的晶圆偏转角度检测方法，其特征在于：包括如下步骤：S1:设置相机及工作台上的晶圆；S2:相机拍摄晶圆，获取晶圆图像；S3:图像处理器接收晶圆图像、相机与工作台的偏差角度；图像处理器对晶圆图像进行处理，得到晶圆的偏转角度；相机与工作台的偏差角度与晶圆的偏转角度之和为晶圆的所需旋转角度。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区沙井镇马安山科技园38栋2楼 | ||