发明名称 MANUFACTURING METHOD OF PAD CONDITIONER
摘要 <p>본 발명은 패드 컨디셔너 제조방법 및 패드 컨디셔너에 관한 것으로, 베이스 기판(21)에 감광성 필름(23)을 적층하고, 에칭 공정을 수행하여 상기 감광성 필름(23)에 복수의 안착홀(25)을 형성하는 단계와, 상기 안착홀(25)에 연마입자(27)를 삽입하고 그 상부에 상기 감광성 필름(23)과 상기 연마입자(27)의 상부면을 덮는 도금층(31)을 형성하는 단계와, 상기 베이스 기판(21)을 제거하고 상기 감광성 필름(23)을 제거하는 단계와, 상기 도금층(31)을 일부 녹이는 단계를 포함한다. 본 발명은 도금층에 연마입자가 균일하게 돌출될 뿐 아니라 도금층의 상부로 돌출된 연마입자의 최상단부의 높이를 일정하게 할 수 있는 이점이 있다.</p>
申请公布号 KR101558449(B1) 申请公布日期 2015.10.07
申请号 KR20140034834 申请日期 2014.03.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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