| 发明名称 | 具有通孔的电感器 | ||
| 摘要 | 提供一种使用具有一个或多个通孔的电感器的器件及其制造方法。在实施例中，在一个或多个金属化层中形成电感器。在电感器的正下方设置一个或多个通孔。通孔可以延伸穿过插入衬底和电感器之间的一个或多个介电层。此外，通孔可以完全或部分延伸穿过衬底。本发明提供了具有通孔的电感器。 | ||
| 申请公布号 | CN103165567B | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
| 申请号 | CN201210057480.6 | 申请日期 | 2012.03.06 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 颜孝璁;林佑霖 |
| 分类号 | H01L23/522(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01F17/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/522(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人 | 陆鑫;房岭梅 |
| 主权项 | 一种电感器装置，包括：衬底；一个或多个介电层，位于所述衬底的上方；一个或多个通孔，延伸穿过所述一个或多个介电层中的一个或多个；以及电感器，位于所述一个或多个通孔的上方，所述一个或多个通孔没有电连接至所述电感器。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||