用于减小非线性运动的构型

摘要

披露了用于修改弹簧质量构型的多个实施例，这些实施例将不想要的非线性运动对MEMS传感器的影响最小化。这些修改包括以下任何各项中的任一项或任何组合：在该弹簧质量构型的多个旋转结构之间提供一个刚性元件、在这些旋转结构之间调谐一个弹簧系统并且将一个电消除系统联接至这些旋转结构上。在进行这样不想要的线性运动时，将例如不想要的二阶谐振运动最小化。

主权项

一种MEMS传感器，包括：一个第一和第二旋转臂，其中该第一和第二旋转臂彼此联接并且该第一和第二旋转臂被配置成用于在被驱动进行振荡时逆向旋转；至少一个前进系统，其中该至少一个前进系统联接至该第一和第二旋转臂上；用于驱动该至少一个前进系统进行振荡的至少一个致动器；以及一个基板；其中该至少一个前进系统被驱动进行振荡时在一个第一方向上移动。