基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构及其制备方法，所述结构分为槽型结构、柱型结构。所述槽型结构主要通过一次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现；柱型结构主要通过两次DRIE干法刻蚀结合热氧化工艺实现，且其阵列单元中的硅微纳米线只位于柱顶端；以上结构所采用的制备方法均为成熟的MEMS工艺，具有制作成本低、制作周期短、可批量制作等优点。

主权项

一种基于MEMS工艺的细胞微阵列结构制备方法，其特征在于：该方法至少包括以下步骤：1)提供一硅衬底；2)在所述硅衬底上表面旋涂光刻胶，光刻并显影形成图形化阵列结构；3)采用DRIE刻蚀工艺在所述硅衬底上形成硅微纳米线；4)进行热氧化工艺。