| 发明名称 | 一种掺杂纳米复合镶嵌结构的智能节能薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种掺杂纳米复合镶嵌结构的智能节能薄膜及其制备方法，包括玻璃衬底、ZnO镶嵌层、嵌入物，所述玻璃衬底上附着ZnO镶嵌层，ZnO镶嵌层内设有嵌入物，所述嵌入物为VO<sub>2</sub>。将高纯度的掺杂源W(或Mo、Nb、Ta、Ru元素)置于VO<sub>2</sub>靶材上，并且在玻璃衬底上引入合适厚度的异质复合层ZnO，在沉积VO<sub>2</sub>薄膜的过程中实现W掺杂、纳米结构和ZnO异质复合三者的协同作用，形成掺杂纳米镶嵌结构的VO<sub>2</sub>智能节能薄膜。提升了红外(和电学)调制幅度，降低了薄膜的相变温度和热滞回线宽度，改善了VO<sub>2</sub>薄膜的热致变色性能和红外调控效率，提高其在智能窗薄膜的应用潜力。 | ||
| 申请公布号 | CN104962869A | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
| 申请号 | CN201510381588.4 | 申请日期 | 2015.07.01 |
| 申请人 | 五邑大学 | 发明人 | 朱慧群 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人 | 靳荣举;焦明辉 |
| 主权项 | 一种掺杂纳米复合镶嵌结构的智能节能薄膜，其特征在于：包括玻璃衬底、ZnO镶嵌层、嵌入物，所述玻璃衬底上附着ZnO镶嵌层，ZnO镶嵌层内设有嵌入物，所述嵌入物为VO<sub>2</sub>。 | ||
| 地址 | 529020 广东省江门市东成村22号 | ||