发明名称 |
带表面电极的透明导电玻璃基板及其制造方法、以及薄膜太阳能电池及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种反射率低、低吸收、透过率高的带表面电极的透明导电玻璃基板以及使用该表面电极的、光电转换效率比以往高的薄膜太阳能电池。通过在透光性玻璃基板上以膜厚50nm~150nm形成作为第一层的波长550nm时的折射率为1.6~1.8的低折射率透明薄膜,在该折射率透明薄膜上依次形成作为第二层的氧化铟系的非晶质透明导电膜、作为第三层的氧化锌系的晶质透明导电膜的凹凸膜,从而形成带表面电极的透明导电玻璃基板。 |
申请公布号 |
CN104969362A |
申请公布日期 |
2015.10.07 |
申请号 |
CN201380063900.4 |
申请日期 |
2013.10.11 |
申请人 |
住友金属矿山株式会社 |
发明人 |
曾我部健太郎;山野边康德;松村文彦 |
分类号 |
H01L31/04(2014.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/04(2014.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种带表面电极的透明导电玻璃基板,其特征在于,其在透光性玻璃基板上以膜厚50nm~150nm形成有作为第一层的波长550nm时的折射率为1.6~1.8的低折射率透明薄膜,进而依次形成有作为第二层的氧化铟系的非晶质透明导电膜、作为第三层的氧化锌系的晶质透明导电膜的凹凸膜。 |
地址 |
日本东京都 |