COBALT-CONTAINING COMPOUNDS, THEIR SYNTHESIS, AND USE IN COBALT-CONTAINING FILM DEPOSITION

摘要

코발트-함유 화합물, 이의 합성, 및 코발트-함유 필름의 침착을 위한 이의 용도가 개시된다. 기재된 코발트-함유 화합물은 하기 화학식 중 하나를 갖는다:화학식 I 화학식 II [식 중, R, R, R, R및 R각각은 독립적으로 수소; 할로겐; 선형, 시클릭 또는 분지형 탄화수소; 일차 아미노 리간드 (-NHR); 또는 이차 아미노 리간드 (-NRR') (식 중 R 및 R' 는 독립적으로 H 또는 선형, 시클릭 또는 분지형 탄화수소임) 로부터 선택되고; 단, 화학식 I 에서 R, R, 또는 R및 화학식 II 에서 R또는 R중 하나 이상은 아미노 리간드임].