硅扬声器

摘要

本发明提供一种硅扬声器，包括MEMS声电芯片和PCB基板，其中，该MEMS声电芯片包括在硅基板上的波形振膜，并且该MEMS声电芯片的一面被金属化，并且该MEMS声电芯片的被金属化的一面与该PCB基板连接。该波形振膜与在该MEMS声电芯片上的金属路径导电且互连，并且该波形振膜被引到作为一个电极的第一PCB金属路径。在该MEMS芯片下方的第二PCB金属路径构成静电致动器的另一电极。本发明提供的硅扬声器降低扬声器的制造成本，并使得该振膜在发生大的位移时产生高的且可重复、可靠的声压，提高了扬声器的声效。

主权项

一种硅扬声器，包括MEMS声电芯片和PCB基板，其中，所述MEMS声电芯片包括在硅基板上的波形振膜，并且所述MEMS声电芯片的一面被金属化，且所述MEMS声电芯片的被金属化的一面与所述PCB基板相连接。